เป้าหมายสปัตเตอร์ไทเทเนียม

ตอบ: การใช้งานเซมิคอนดักเตอร์โดยทั่วไปต้องใช้ความบริสุทธิ์ 99.995% (4N5) ถึง 99.999% (5N) เพื่อป้องกันการปนเปื้อนของโลหะจากการเปลี่ยนแปลงคุณสมบัติทางไฟฟ้า การใช้งานเคลือบแข็งที่ทนทานต่อการตกแต่งและการสึกหรอ-โดยทั่วไปจะใช้ความบริสุทธิ์ 99.9% (3N) ถึง 99.95% ซึ่งช่วยรักษาสมดุลระหว่างต้นทุนและประสิทธิภาพการทำงาน

ตอบ: การแตกร้าวของเป้าหมายจะลดลงโดยการรักษาขนาดเกรนที่ละเอียดและสม่ำเสมอ (< 100 um), high theoretical density (>99.5%) และใช้แผ่นรองรับทองแดง OFHC แบบพันธะ-แบบบอนด์หรืออินเดียม-ที่แข็งแกร่งซึ่งกระจายโหลดความร้อนได้อย่างมีประสิทธิภาพ

ตอบ: เรารับประกันอัตราการเป็นโมฆะของการยึดติดระหว่างผิวหน้าน้อยกว่า 1% ของพื้นที่พื้นผิวการยึดเหนี่ยวทั้งหมด ตรวจสอบผ่านการสแกนด้วยคลื่นอัลตราโซนิก C- ก่อนการขนส่ง เพื่อป้องกันความร้อนสูงเกินไปเฉพาะที่และการหลุดล่อนของเป้าหมาย

ก. ใช่. เราสร้าง-เป้าหมายระนาบพื้นที่ขนาดใหญ่และเป้าหมายที่หมุนได้ในส่วนโมดูลาร์ที่เชื่อมต่อกันซึ่งออกแบบมาเพื่อการติดตั้งที่ไร้รอยต่อในกระจกสถาปัตยกรรมและสายการเคลือบจอแสดงผล

ตอบ: หากทราบ โปรดระบุโมเดลระบบ PVD ของคุณ รูปทรงเป้าหมาย (ระนาบหรือหมุนได้) ขนาดที่แน่นอน (ความยาว ความกว้าง ความหนา หรือเส้นผ่านศูนย์กลางภายนอก) เกรดความบริสุทธิ์ของวัสดุ ข้อกำหนดวัสดุแผ่นรองหลัง และปริมาณการใช้ต่อปีโดยประมาณ

ตอบ: ชิ้นงานได้รับการทำความสะอาดอัลตราโซนิกในตัวทำละลายบริสุทธิ์-เพื่อขจัดเศษตกค้างจากเครื่องจักร ปิดผนึกสูญญากาศ-ในสภาพแวดล้อมห้องปลอดเชื้อด้วยสารดูดความชื้น และบรรจุในภาชนะไม้-กำจัดไนโตรเจนหรือ{3}}งานหนัก