เป้าหมายสปัตเตอร์ไทเทเนียมระนาบ

เป้าหมายสปัตเตอร์ไทเทเนียมระนาบระนาบผลิตจากแท่งไทเทเนียมที่หลอมละลายด้วยการเหนี่ยวนำสุญญากาศและผ่านกระบวนการทางเทอร์โมกลศาสตร์ ออกแบบมาเพื่อการกำหนดค่าสปัตเตอร์แมกนีตรอน DC และ RF เป้าหมายแบบเรียบเหล่านี้ให้การสะสมของฟิล์มบาง-ที่สม่ำเสมอและเสถียรทั่วสายการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ห้องเคลือบแสง และระบบ PVD ทางอุตสาหกรรม โครงสร้างจุลภาคที่ได้รับการควบคุมทำให้มั่นใจได้ว่าอัตราการกัดเซาะเป้าหมายที่สม่ำเสมอ อัตราสปัตเตอร์ที่คาดการณ์ได้ และการสร้างอนุภาคน้อยที่สุดในระหว่างการทำงานที่มีกำลังสูง-ที่ขยายออกไป

ขนาดเกรนที่ควบคุม:การกระจายเกรนที่ละเอียดและสมดุลจะยับยั้งการเกิดรูพรุนเฉพาะที่ และลดการก่อตัวของปมเป้าหมายในระหว่างรอบการสะสมที่ยืดเยื้อ
สิ่งเจือปนในโฆษณาคั่นระหว่างหน้าต่ำ:การหลอมเหลวจะรักษาระดับ ppm{0}} ที่เข้มงวดสำหรับออกซิเจน ไนโตรเจน ไฮโดรเจน และคาร์บอน เพื่อกำจัดการปนเปื้อนของฟิล์ม
เมทริกซ์ความหนาแน่นสูง:โครงสร้างที่มีความหนาแน่นเต็มที่จะกำจัดไมโครพอร์ภายใน ป้องกันการ-อาร์คขนาดเล็กในระหว่างกระบวนการสปัตเตอร์ปฏิกิริยาที่มีอัตราสูง-
ความสมบูรณ์ของอินเทอร์เฟซการระบายความร้อน:พันธะอินเดียมหรือการแพร่กระจายที่ปรับให้เหมาะสมจะรักษาค่าการนำความร้อนได้มากกว่า 120 W/mK ป้องกันการแยกชั้นของความเครียดจากความร้อนภายใต้โหลดที่มีความหนาแน่นของพลังงานสูง

เซมิคอนดักเตอร์และไมโครอิเล็กทรอนิกส์:ชั้นกั้น ชั้นสัมผัส และการเชื่อมโลหะในการผลิตวงจรรวม
การเคลือบด้วยแสง:ชั้นป้องกันแสงสะท้อน (AR) - ตัวกรองไดอิเล็กทริก และชั้นออกไซด์นำไฟฟ้าแบบโปร่งใส (TCO) สำหรับออปติกที่มีความแม่นยำ
จอแสดงผลแบบแบน:อิเล็กโทรดนำไฟฟ้าและชั้นบัฟเฟอร์สำหรับสายการผลิต OLED และ LCD
กระจกสถาปัตยกรรมและยานยนต์:การควบคุมพลังงานแสงอาทิตย์และการเคลือบกระจกทางสถาปัตยกรรมที่มีการปล่อยรังสีต่ำ- (ต่ำ- E)
การสึกหรอและการเคลือบแข็งสำหรับตกแต่ง:สารเคลือบไทเทเนียมไนไตรด์ (TiN) และไทเทเนียมคาร์บอนไนไตรด์ (TiCN) สำหรับเครื่องมือตัด ฮาร์ดแวร์อุตสาหกรรม และชิ้นส่วนยานยนต์

การหลอมและกระบวนการทางความร้อนเชิงกล:การหลอมอาร์กด้วยสุญญากาศ (VAR) จับคู่กับ-การตีร้อนแบบหลายแกนและ-เส้นทางการรีดแบบข้ามเพื่อกำจัดแอนไอโซโทรปีเชิงกลแบบกำหนดทิศทาง
เครื่องจักรกลที่มีความแม่นยำ:การกัด CNC และการเจียรพื้นผิวมีพิกัดความเผื่อความเรียบภายใน +/- 0.1 มม. และความหยาบผิวจนถึง Ra < 0.4 um
รูปทรงเรขาคณิตที่กำหนดเอง:การผลิตจะจัดการกับส่วนสี่เหลี่ยม วงกลม แยก-ส่วน ขั้น-ข้อต่อ และรูปทรงแบบกำหนดเองที่แมปโดยตรงกับภาพวาดแคโทดที่เป็นกรรมสิทธิ์
วิศวกรรมแผ่นรอง:การออกแบบและการผลิตแบบกำหนดเองของแผ่นรองทองแดงหรืออะลูมิเนียม OFHC ที่มีช่องน้ำหล่อเย็น{0}}ที่จัดตำแหน่งอย่างแม่นยำและร่องซีลวงแหวนโอ-

การตรวจสอบเชิงวิเคราะห์:Glow Discharge Mass Spectrometry (GDMS) หรือ ICP-OES รับรองความบริสุทธิ์แบบกลุ่มและติดตามระดับสิ่งเจือปนที่เป็นโลหะ/สิ่งของคั่นระหว่างหน้า
การตรวจสอบโลหะวิทยา:กล้องจุลทรรศน์แบบใช้แสงและการเลี้ยวเบนของแสงสะท้อนกลับของอิเล็กตรอน (EBSD) ช่วยยืนยันความสม่ำเสมอของขนาดเกรนและการวางแนวของผลึกศาสตร์
การทดสอบแบบไม่ทำลาย- (NDT):การทดสอบการสแกนด้วยคลื่นอัลตราโซนิก C- ยืนยันความสมบูรณ์ของการยึดเกาะ 100% รับประกันว่าช่องที่ไม่มีการประสานที่มีเส้นผ่านศูนย์กลางเกิน 3 มม. เป็นศูนย์
การตรวจสอบย้อนกลับและการปฏิบัติตามกฎระเบียบ:ผลิตภายใต้ระบบการจัดการคุณภาพที่ได้รับการรับรองมาตรฐาน ISO 9001 ทุกล็อตการผลิตจะจัดส่งพร้อมกับใบรับรองการวิเคราะห์ (CoA) โดยละเอียดซึ่งเชื่อมโยงกับหมายเลขความร้อนของแท่งโลหะเฉพาะ ควบคู่ไปกับเทมเพลตการรายงาน RoHS, REACH และแร่ที่มีข้อขัดแย้ง (CMRT) ที่ได้รับการตรวจสอบอย่างครบถ้วน

การปิดผนึกสูญญากาศป้องกันการ:บรรจุแยกกันใน-ถุงพลาสติกโพลีเอทิลีนป้องกันไฟฟ้าสถิตและ-ปิดผนึกสูญญากาศในสภาพแวดล้อมที่มีการไล่อากาศด้วยไนโตรเจน- เพื่อป้องกันการเกิดออกซิเดชันระหว่างการขนส่ง
การป้องกันผลกระทบ:ปลอดภัยด้วยโฟมกันสะเทือนโพลีเอทิลีนความหนาแน่นสูง-ภายในลังไม้เกรดส่งออก- เพื่อป้องกันไม่ให้ขอบบิ่น โค้งงอ หรือความเสียหายที่พื้นผิว
โลจิสติกส์ระดับโลก:ประสานงานการขนส่งสินค้าทางอากาศและทางทะเลระหว่างประเทศ โดยมีเอกสารพิธีการศุลกากรครบถ้วน

ส่งข้อกำหนดทางเทคนิคหรือแบบวิศวกรรมของคุณเพื่อรับใบเสนอราคาเชิงพาณิชย์ รายงานการทดสอบวัสดุ (MTR) ที่ได้รับการรับรอง การตรวจสอบการปฏิบัติตามข้อกำหนด และเวลารอคอยสินค้าที่ได้รับการตรวจสอบแล้ว
พารามิเตอร์ RFQ ที่จำเป็น:เกรดความบริสุทธิ์ของวัสดุ (เช่น 99.995%) ขนาดที่แน่นอน (ยาว x กว้าง x หนา) สถานะของแผ่นรอง (ไม่ยึดติดเทียบกับประเภทวัสดุ) และปริมาณการจัดซื้อรายปีหรือเป็นชุดโดยประมาณ
ติดต่อฝ่ายวิศวกรรมและการขายโดยตรง:[ใส่อีเมล / ลิงก์แบบฟอร์มการส่ง RFQ]

ป้ายกำกับยอดนิยม: เป้าหมายสปัตเตอร์ไทเทเนียมระนาบ ประเทศจีนผู้ผลิตเป้าหมายสปัตเตอร์ไทเทเนียมระนาบ ซัพพลายเออร์ โรงงาน